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時鐘晶振的技術發展方向

小型化、高精度和高穩定性是時鐘器件不變的主題。愛普生也力求以後産品要節能化,即功耗要小。盡管小型化和高精度是不變的主題,但傳統機械加工方法已接近極限。随着尺寸越來越小,傳統機械方法在切割時,晶片有可能會斷裂,一是它的穩定性不會高,另外一點是想提高精度非常困難。例如,如果要使音叉型石英晶振芯片小型化,CI值就會升高從而難于取得良好的振蕩特性,這也成了小型化的瓶頸所在。
 
QMEMS是愛普生合并了QUARTZ和MEMS這兩個關鍵詞構成了一項獨有的新技術。通過利用感光印刷技術對晶體實施精細加工,QMEMS能提供高精度、高穩定、高附加值的石英晶體産品。與機械加工相比,QMEMS大幅提升精度和穩定性的同時實現了超小型。
 
基于QMEMS工藝的産品包括音叉型晶體、角速度傳感器、HFF晶振和AT切割振蕩器等。一些最新産品的例子有:世界上最小的2016尺寸的TCXO TG-5011BA;用于GPS導航的TCXO TG5005CG (2.5×2.0×0.9mm/0.5ppm/-30—+85℃);面向汽車導航的世界最小、高精度的角速度傳感器XV-8000CB(5.0×3.2×1.3mm);世界最小尺寸晶體單元石英晶振(KHz)FC-12M(2.0×1.2×0.6mm);世界最小尺寸的AT産品FA-20H(2.5×2.0×0.55mm);以及可編程石英晶振SG8003CE(1~166MHz)。
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